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光學行業真空鍍膜設備如何進行保養

點擊次數:2951 更新時間:2016-10-31

光學行業真空鍍膜設備如何進行保養:

光學真空鍍膜設備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜(控制電柜、電子槍電樞)組成,其

廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。光學真空鍍膜設備在防止油污染和縮短

工作周期等方面具有的性能。

光學真空鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,

材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向

四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。

精密光學真空鍍膜設備在保養的時候有哪些保養方面的措施,下面的內容中我們就來了解。

一、定期更換擴散泵油

真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間,約二個月兩班:,因在長期高溫環境,雖然較高真空時才啟動擴

散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應,擴散泵油在高溫下也可能產生裂解,使其品

質下降,而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時,應予更換。

二、真空泵

真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原

因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設備,在使用頭半個月即應更換,因在磨合

期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。

三、清潔衛生

定期將真空鍍膜設備及其周圍環境衛生搞好,常保持設備內外清潔,將真空鍍膜設備周圍環境整理有

條,有一個好的工作環境,以保安全。

 

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