EDWARDS展示的真空設備

Edwards公司總部設在英國，擁有完善成熟的品牌。Edwards公司真空和尾氣處理技術致力

于在整個半導體制造領域中減少污染、降低能耗和運營成本，這些領域包括LED、太陽能光伏

(solar PV)和平板顯示(flat-panel display，FPD)等。

Edwards市場半導體行業Maiku Boger表示：“中國的半導體行業繼續表現出強勁增

長，尤其是受到國內生產的推動。中國的戰略目標包括新能源和環境的可持續性，因此，太陽

能光伏(PV)、FPD和化合物半導體等都屬于中國非常具有競爭力的廣泛工業領域。Edwards公司

的真空和尾氣處理系統是滿足這個巨大市場供應鏈的核心，從2005年開始，業界*中國

已經是世界zui大的半導體芯片市場。”

Edwards的真空和尾氣處理系統緩解了一系列環境威脅，例如半導體生產工藝中產生的酸性和腐

蝕性氣體，Edwards可幫助用戶實現碳排放為負值(carbon-negative)。Edwards通過一系列創新

但已經過驗證的泵和系統來提供高能效解決方案，所有這些方案都僅需要相對較低的資本投入

和維護成本。　　

Edwards在中國的主要目標就是按照客戶的特定要求來提供定制的真空解決方案和增值服務，以

便幫助他們應對在先進工藝和設備制造中遇到的挑戰。Edwards能夠在需要尾氣處理的場合提供

“交鑰匙”系統方案。

EDWARDS展示的真空設備