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擴散泵報警什么原因

點擊次數:3592 更新時間:2015-10-19

 

擴散泵報警什么原因:

檢查擴散泵上的循環水還有嗎~或者是擴散泵循環水上的傳感壞了.

擴散泵常出現的故障:

1:極限真空變低,原因:

a.系統中有滲漏;

b.系統太臟;

c.泵油污染;

d.加熱功率不夠;

e.冷卻水不足;

f.過量或過冷的冷卻水;

g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;

h.快冷管內有水。

2: 抽氣較慢,原因:

a.加熱功率低;

b.油量不足;

c.噴帽安裝位置不當或受損。

3:進口壓力波動,原因:

a.加熱器輸入功率不當;

b.油脫氣;

c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

4:工作腔污染大,原因:

a.前級壓力高;

b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;

c.系統操作有誤。

5:返油率過大,原因:

a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;

b. 加熱功率不對;

擴散泵報警什么原因:

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